Setra C25 系列超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。
C25 系列采用可旋转的外罩结构，用户可方便地调节用于零点和量程微调的多圈电位计。 标准的外螺纹 / 内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。 此外，该系列产品还可选多种其他类型。 C25 系列产品提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输出类型，可使用六英尺多芯电缆及卡口、 DSub 或M12x1 接头进行电气连接。
C25 系列压力变送器采用 Setra 的可变电容技术， 配有 VIM/VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容， 当气体压力升高时，隔膜会变得略圆， 使电容减小， 传感器检测到电容变化，并将其转换为高精度的线性直流电信号。 Setra 独特的定制集成电路采用专利的电荷平衡原理制成，几乎不受 EMI/RFI 干扰。
特性
• 泄露率低
• VCR 接头
• 易于吹扫的小腔室
• 200PSI/250PSI/3000PSI
• 316 L VIM/VAR 不锈钢
• 表面抛光度 7 Ra
• 1× 10-9 ATM.CC/sec 级别的氦渗漏实验
• 坚固耐用，无故障安装
• 4-20mA 输出型获得不易燃认证，适用于潜在危险区域
• 符合 CE 标准要求
应用
• 高纯度气体输送系统
• 半导体过程工具
• 气柜